| 符号 | 参数 | 测试条件 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
|---|
| 微镜倾斜角(2)(3)(4)(5) | 着陆状态(1) | 11 | | 13 | 度 |
| COT | 微镜交叉时间(6) | 典型性能 | | 1 | 3 | μs |
| 微镜开关时间(7) | 典型性能 | 4 | | | μs |
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微镜旋转轴方向(8) |
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44 |
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46 |
度 |
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微镜阵列光学效率(9)(10) |
400nm 至 420nm，所有微镜均处于打开状态 |
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66% |
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微镜阵列光学效率(9)(10) |
410nm 至 800nm，所有微镜均处于打开状态 |
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63% |
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不工作的微镜(11) |
非相邻微镜 |
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10 |
微镜 |
| 相邻微镜 |
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0 |
(1) 相对于整个微镜阵列形成的平面进行测量。
(2) 微镜阵列和封装基准之间存在额外差异。
(3) 表示着陆倾斜角相对于标称着陆倾斜角的变化。
(4) 表示位于同一器件上或位于不同器件上的任意两个单独微镜之间可能产生的变化。
(5) 对于某些应用，在整个系统光学设计中考虑微镜倾斜角的变化是至关重要的。对于某些系统光学设计，器件内的微镜倾斜角变化可能会导致从微镜阵列反射的光场出现可察觉的不均匀性。对于某些系统光学设计，器件之间的微镜倾斜角变化可能会导致色度变化、系统效率变化或系统对比度变化。
(6) 微镜标称从一个着陆状态转换到相反着陆状态所需的时间。
(7) 微镜连续转换之间从一个微镜时钟脉冲结束到下一个微镜时钟脉冲开始之间的最短时间。
(8) 相对于封装基准“B”和“C”进行测量。
(9) 在特定应用中观察到的最小或最大 DMD 光学效率取决于大量特定于应用的设计变量，例如：
- 照明波长、带宽/线宽、相干度
- 照明角度加上角度公差
- 照明和投影孔径尺寸，以及系统光路中的位置
- DMD 微镜阵列的照明溢出
- 光源和/或照明路径中存在的散射
- 投影路径中存在的散射
指定的标称 DMD 光学效率基于以下使用条件：
- 可见光照明（400nm 至 800nm）
- 输入照明光轴相对于正常窗口方向呈 24°
- 投影光轴相对于正常窗口方向呈 0°
- ƒ/3 照明孔径
- ƒ/2.4 投影孔径
根据这些使用条件，标称 DMD 光学效率由以下四个部分决定：
- 微镜阵列填充系数：标称值为 90%
- 微镜阵列衍射效率：标称值为 86%
- 微镜表面反射率：标称值为 88%
- 窗透射率：标称值为 97%（单通，两个窗面）
(10) 未考虑微镜开关占空比的影响，该影响取决于应用。微镜开关占空比表示微镜实际上将光从光学照明路径反射到光学投影路径的时间百分比。该占空比取决于照明孔径尺寸、投影孔径尺寸和微镜阵列更新速率。
(11) 不工作的微镜是指无法在“关闭”位置和“打开”位置之间正常切换的微镜。