ZHCSTZ3 December 2023 RES11A
PRODUCTION DATA
RES11A 的电阻通过以下公式来描述:
RInnom 和 RGnom 是每个电阻的标称值。参数 tabs 是误差项,用于描述相关 RES11A 器件的绝对容差,使得 |tabs| ≤ 12%。绝对容差主要取决于 SiCr 电阻率 (tSiCr) 的变化。给定 RES11A 的四个电阻呈叉指状,并且来自相同的晶圆区域;因此,tSiCr 对于四个电阻中的每一个来说实际上相同,但 tSiCr 因器件而异。以下示例显示,当从比例角度考虑每个分压器时,这些误差项会消失。参数 tRx 是误差项,用于描述给定 RES11A 器件每个电阻的剩余有效容差(在考虑通用 tSiCr 之后)。
RES11A 的规定最大分压器分压比容差为 0.05%,这意味着实际分压器比率 Gx 和标称比率 Gnom(给定分压器 x)之间的关系描述如下:
使得 tDx ≤ 0.05%。由于在最终测试阶段时会筛除所有不符合这些标准的器件,因此这些公式可以与方程式 5 一起用来证明 tRx 的有效界限。因此,尽管器件的绝对端到端容差界限为 ±12%,但每个电阻的有效误差容差(对于比率应用)大约在 ±0.025% 范围内(最坏情况 tRx)。
RES11A 的规定最大分压器匹配容差为 0.1%,这意味着分压器 1 的比率 (G1) 和分压器 2 的比率 (G2) 描述如下:
根据定义,|tM| ≤ 0.1%。同样,前面的公式将 tM 与参数 tDX 和 tRX 相关联。由于两个分压器呈叉指状,因此 tM 的实际典型幅度明显低于此最大值,具体取决于特定的 RES11A 器件。在实现差分放大器电路时,此值用于计算共模抑制比 (CMRR)。例如,典型的 tM(RES11A40 的典型值)大约为 85ppm,而典型 CMRR 为 95.4dB。