该诊断机制允许控制器检查内部振荡器是否有任何硬件故障。通过此检查，可以检查内部振荡器的任何漂移。高频振荡器对于精确测量磁场至关重要，而低功耗振荡器对于控制唤醒和睡眠模式以及其他状态机控制至关重要。

要运行此检查，控制器上需要外部软件代码。控制器必须通过设置 OSC_CNT_CTL 位来启动检查，以选择特定的振荡器并在器件上开始内部计数。同时，控制器还应使用自己的时基启动计数器。在预先确定的时间之后，控制器应通过设置 OSC_CNT_CTL = 0x3 并读取 OSC_COUNT 来停止振荡器计数。OSC_COUNT 的读取值不应超过规格部分中基于最大 f_HFOSC 和 f_LFPOSC 的值。在计算 OSC_COUNT 的误差幅度时，需要考虑控制器时钟速度和 SPI 通信时序的变化。