ZHCA627B January   2024  – April 2024 DLP500YX , DLP5500 , DLP6500FLQ , DLP6500FYE , DLP650LNIR , DLP670S , DLP7000 , DLP7000UV , DLP9000 , DLP9000X , DLP9000XUV , DLP9500 , DLP9500UV

 

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  2.   摘要
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  4. 1DMD 微镜的加热
    1. 1.1 镜面与镜体差值 (ΔTMIRROR_SURFACE-TO-BULK_MIRROR)
    2. 1.2 镜体与器件差值 (ΔTBULK_MIRROR-TO-SILICON)
    3. 1.3 器件与陶瓷差值 (ΔTSILICON-TO-CERAMIC)
  5. 2使用脉冲光源计算镜面温度
    1. 2.1 镜面与镜体差值 (ΔTMIRROR_SURFACE-TO-BULK_MIRROR)
    2. 2.2 镜体与器件差值 (ΔTBULK_MIRROR-TO-SILICON)
    3. 2.3 器件与陶瓷差值 (ΔTSILICON-TO-CERAMIC)
    4. 2.4 计算镜面与陶瓷差值 (ΔTMIRROR_SURFACE-TO-CERAMIC)
  6. 3计算示例
  7. 4总结
  8. 5参考资料
  9. 6修订历史记录

器件与陶瓷差值 (ΔTSILICON-TO-CERAMIC)

在 CW 系统中,这通常是唯一的考虑因素,温升定义为器件的总热负荷乘以从器件到封装背面陶瓷的封装热阻。

T S I L I C O N - T O - C E R A M I C =   Q S I L I C O N × R S I L I C O N - T O - C E R A M I C

其中:

Q S I L I C O N =   Q E L E C T R I C A L +   Q I L L U M I N A T I O N

Q I L L U M I N A T I O N = ( α D M D x Q I N C I D E N T )

Q E L E C T R I C A L = DMD 上的总电功率 [来自 DMD 数据表]

R S I L I C O N - T O - C E R A M I C [来自 DMD 数据表]

Q I N C I D E N T = 到 DMD 的总入射平均光功率

α D M D = DMD 热吸收率

D M D = 1 - O v e r f i l l   *   { F F M I R R O R   *   ( 1 - M R ) ]   +   1 - F F M I R R O R   +   2   * W I N D O W + O v e r f i l l

其中:

F F M I R R O R = 微镜阵列填充系数(关断状态计算最高温度)[表 2-2]

M R = 微镜反射率 [图 2-1图 2-2图 2-3]

α W I N D O W = 窗口单通吸收率

O v e r f i l l = 1 -   A r r a y   A r e a I n c i d e n t   A r e a

I n c i d e n t   A r e a = DMD 上的总照明区域

由于器件的热时间常数为秒级,因此器件可以将脉冲热源视为连续热源,等于 DMD 光功率的平均吸收功率。

微镜阵列的填充系数 (FFMIRROR) 在导通状态下比关断状态下高 [表 2-2]。这是因为偏离光源(关断状态)的微镜会通过微镜间隙将器件的更多部分暴露于照明中。对于最坏情形下的热建模,只需使用关断状态填充系数。