ZHCA627B January   2024  – April 2024 DLP500YX , DLP5500 , DLP6500FLQ , DLP6500FYE , DLP650LNIR , DLP670S , DLP7000 , DLP7000UV , DLP9000 , DLP9000X , DLP9000XUV , DLP9500 , DLP9500UV

 

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  2.   摘要
  3.   商标
  4. 1DMD 微镜的加热
    1. 1.1 镜面与镜体差值 (ΔTMIRROR_SURFACE-TO-BULK_MIRROR)
    2. 1.2 镜体与器件差值 (ΔTBULK_MIRROR-TO-SILICON)
    3. 1.3 器件与陶瓷差值 (ΔTSILICON-TO-CERAMIC)
  5. 2使用脉冲光源计算镜面温度
    1. 2.1 镜面与镜体差值 (ΔTMIRROR_SURFACE-TO-BULK_MIRROR)
    2. 2.2 镜体与器件差值 (ΔTBULK_MIRROR-TO-SILICON)
    3. 2.3 器件与陶瓷差值 (ΔTSILICON-TO-CERAMIC)
    4. 2.4 计算镜面与陶瓷差值 (ΔTMIRROR_SURFACE-TO-CERAMIC)
  6. 3计算示例
  7. 4总结
  8. 5参考资料
  9. 6修订历史记录

1.2 镜体与器件差值 (ΔTBULK_MIRROR-TO-SILICON)

器件到镜体温升表示微镜中吸收的热负荷，必须通过微镜结构传导至器件表面。此计算的示例如节 2.2所示。
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