必须先将吸收的热负荷从微镜顶部传递到微镜底部，然后才能将其从镜体传导至器件。沿微镜厚度方向的热传导通常非常高效，因为铝镜很薄且具有高导热性，但脉冲照明可能会导致镜面温度远高于镜体温度的情况。

由于这些短脉冲可以非常快速地加热镜面，而不会影响微镜的底部表面，因此可以将微镜视为半无限实体。方程式 1 中显示了具有恒定热通量的半无限实体的温度公式。

其中：

$T(x,t)$ = 深度 = x、时间 = t 时的温度

$T_i$ = 初始微镜温度

q = 镜面吸收的热通量 [W/m²]

α = 微镜热扩散率 = 6.4667 x 10^-5m²/s

k = 微镜热导率 = 160W/m-ºC

$erfc$ (x) = 互补误差函数

因为我们只关注镜面温度，

以上公式中的深度 (x) = 0 可简化为方程式 2。

使用该公式可计算脉冲结束且处于最大值的镜面温度，t = 脉冲持续时间。温升只是镜面吸收的热通量 (q) 和脉冲持续时间 (t) 的函数。对于铝镜，所有其他变量都是恒定的。因此，温升与 qt^1/2 成正比。随着脉冲持续时间在恒定平均功率密度下变小，峰值脉冲功率会增加，并导致镜面温度大幅上升。此外，镜面温升与镜片间距无关，因为镜片厚度可视为半无限实体，而像素面积不会影响该一维热流。