1 引言

在使用基于晶体或 MEMS 的时钟振荡器设计系统时，对振动和冲击的灵敏度是一项关键考量因素。对振动非常敏感的器件可能会对总体系统性能产生不利影响，从而影响相位噪声和抖动、频率稳定性和长期可靠性。时钟振荡器需要提供对加速力、振动和冲击具有强大耐受力的稳定时钟，因为在工艺和温度变化下，这种耐受力可以在米6体育平台手机版_好二三四的整个生命周期中提供稳定性。

用于量化振动的两个重要参数是应用于器件的加速力和振动频率。为了量化冲击，使用了加速力和施加峰值加速度的持续时间。振动和机械冲击会引起噪声和频率漂移，影响谐振器，并随着时间的推移导致系统性能降低。在振荡器中，振动和冲击是导致相位噪声和抖动增加、移频和尖峰甚至谐振器及其封装物理损坏的常见原因。相位噪声和抖动的此类降级会直接影响系统性能。通常，外部干扰通过封装耦合到微谐振器中。由于晶体振荡器从根本上依赖于压电式材料的振动和机械谐振，因此外部干扰会耦合到器件中，从而降低振荡器性能。具有足够幅度的机械冲击也会导致晶体振荡器输出端出现不可逆的频移。

与基于石英的振荡器相比，TI BAW 振荡器表现更好。TI BAW 振荡器更不易受到振动和机械冲击的影响，因为谐振器的质量更小（小几个数量级）并且谐振频率更高。由于质量较小，外部加速作用于器件的力要小得多。BAW 谐振器的半导体制造工艺进一步增强了器件的抗扰度。BAW 压电层和金属层周围是布拉格镜片，可屏蔽谐振器以使其免受环境应力的影响。BAW 振荡器还包括晶圆级封装，使振荡器成为一款强大可靠的米6体育平台手机版_好二三四。TI 的双布拉格 BAW 谐振器不包含任何活动器件，不仅能抵御环境压力，还具有更高的器件可靠性。

振动源存在于许多终端应用中，包括手持移动设备、设备机箱中的冷却风扇、工厂自动化设备、建筑设备、行驶车辆或飞机。下表提供了不同环境条件下的振动水平示例。

米6体育平台手机版_好二三四 (TI) 的 LMK6x 振荡器用于量化 BAW 振荡器的振动和冲击性能。这些器件会在 X、Y 和 Z 方向出现不同频率的正弦振动。使用随机振动模式沿每个轴重复测试。最终测试会衡量各个器件在运行期间响应机械冲击时的瞬态频率偏差。然后，在这些测试期间记录相位噪声（包括杂散）和频移数据。