HDC3020 的外露层可以感测到空气中微小的水分含量变化。如果传感层吸收了挥发性化合物，则可能造成传感器性能下降，进而导致测量不准确。以下部分介绍了 HDC3020 在接触到一些挥发性化学物质时会受到的影响，本部分旨在确定化学物质对 HDC3020 传感器 RH 精度的影响。这些器件会接触到商业、工业和住宅清洁用品中常见的挥发性有机化合物 (VOC)。

根据接触水平，化学物质列表可以分为两个子部分：饱和与恢复测试，以及长时间暴露测试。这两个子部分采用不同的测试程序、使用方法以及暴露强度。

以下内容将探讨测试过程中观察到的一些结果。这些器件均通过冷镜技术在 30°C 条件下进行测量。测得的平均误差为 10% 至 90%，如以下各部分中所示。暴露强度非常小，并且化学物质浓度低于行业标准，因此这些器件在湿度测量方面并没有表现出明显的变化。不过，在制造和装配过程中，湿度传感器不应接触到上述部分中所述的化学物质。如果过度接触此类化学物质，则可能会损坏聚合物，并且传感器将难以恢复到运行状态。如果要将器件安装在化学品暴露水平较高的位置，则 HDC3021 是合理的解决方案。另一个可供考虑的选择是 HDC3022，该器件配备持久耐用的聚四氟乙烯 (PTFE) 过滤膜，可过滤掉大于 100nm 的颗粒。

如果发生盐侵状况，并且 RH 误差在较高湿度下比较大，可以使用去离子 (DI) 水来清洗传感器。