VISI-3P-LITHOGRAPHY

VISITECH LUXBEAM リソグラフィー・システム

VISI-3P-LITHOGRAPHY

概要

LUXBEAM LITHOGRAPHY SYTEMS (LLS) は、24 時間 365 日の生産体制向けの自動化インライン機器を含め、さまざまな直接描画リソグラフィー機器向けのサブシステムです。このシステムには、文書化されたインターフェイスが付属しているほか、オンサイト・サポートが利用可能で、ハードウェアとソフトウェアを簡単に統合できます。高度なパッケージング向けの 2μm、4μm、10μm の各ライン・スペースに対応する複数の描画ヘッド・オプションが利用可能で、PCB リソグラフィー用途では 20μm のライン・スペース、半田マスク用途では 30 ～ 40μm のライン・スペースをサポートできます。

製品オプションのリスト全体については、以下のご注文リンクをご覧ください。

特長

Windows 10 PRO
PCB の内部層と外部層向けリソグラフィーに対応する複数の描画ヘッド
半田マスク向けリソグラフィーに対応する複数の描画ヘッド
PCB とウェハの高度なパッケージングに対応する複数の描画ヘッド
350 ～ 420nm の範囲に対応するレーザー光源と LED 光源
データの事前処理と描画制御に対応する SW (ソフトウェア) キット
基準座標に応じたリアルタイム描画補正

紫外線製品 (400nm 未満)

DLP9500UV — 0.96-inch 1080p UV DLP® digital micromirror device (DMD)

近紫外線製品 (400〜420 nm)

DLP9000X — 0.9-inch WQXGA high-speed DLP® digital micromirror device (DMD)

DLP9500 — 0.95-inch 1080p DLP® digital micromirror device (DMD)

DLPA200 — Driver for DLP® digital micromirror device (DMD)

DLPC410 — DLP® controller for DLP650LNIR, DLP7000, and DLP9500 digital micromirror devices (DMDs)

DLPC910 — DLP® controller for DLP6500 and DLP9000 digital micromirror devices (DMDs)

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画像の提供元： VISITECH

購入と開発の開始

光学モジュール

VISITECH-LITHOGRAPHY — LUXBEAM Lithography System

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